Rêwîtiya Rêwîtiyê
20mm
Resolution
0.125 μm
Repeatability
＜1μm
Straightness
＜2μm
Paralelîzm
＜5 μm
Pitching
10″(50 μrad）
Yawing
Leza herî zêde
5mm/ sec
Kapasîteya barkirinê
10 kg
Pîvan
1,5 kg
